Housing container for large pellicle

大型ペリクル収納容器

Abstract

【課題】 本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、特に真空成形を用いて製造した容器であっても、洗浄性を損なわずに剛性を向上させることのできるペリクル収納容器を提供することを目的としている。 【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明の代表的な構成は、ペリクルを収納して保管、搬送するために用いられるペリクル収納容器であって、ペリクルを収納するトレイと、前記トレイを被覆する蓋とからなり、前記トレイに補強板を取り付けたことを特徴とする。これによりケースの変形を防止することが可能となり、ペリクルの粘着剤や枠体が変形することを防止することができる。またリブを設ける必要がないため凹凸がなく、洗浄効果が向上する。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pellicle housing container having improved rigidity without decreasing cleaning property even when a housing container for a large pellicle is manufactured by vacuum forming. <P>SOLUTION: The pellicle housing container is to be used for housing, storing and carrying a pellicle and is typically composed of a tray to house a pellicle and a cap to cover the tray. A reinforcing plate is attached to the tray. Thus, the case is prevented from deforming, and the adhesive or the frame of the pellicle is also prevented from deforming. The container has no projection or recess because no rib is required, which improves the cleaning effect. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

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