Micro valve

微小バルブ

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイクロマシン等の微細流路用の流量制御素 子として、構造が簡単で且つ制御が容易であり、更に交 換修理も可能な微小バルブを提供する。 【解決手段】 微細流路8と、流路内に配置され流路を 開放又は閉塞する微小弁体10とからなり、微小弁体1 0は、電気分極性を有する強磁性超微粒子1及び反磁性 超微粒子2とを分散させたコロイド溶液を、微小カプセ ル4に内包したものである。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro valve with a simple structure, easily controllable, replaceable and repairable as a flow control element for a fine passage of a micro machine or the like. SOLUTION: This micro valve comprises a fine passage 8 and a micro valve element 10 disposed in the passage 8 to open or block passage 8. The micro valve element 10 contains a colloidal solution with electrically polarizable ferromagnetic ultra-fine particles 1 and diamagnetic ultra-fine particles 2 dispersed, in a micro capsule 4.

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