Pellicle housing case

ペリクル収納ケース

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明に係るペリクル収納ケースは、運搬中に ペリクル収納ケースが高温度にさらされた場合にも、ペ リクル収納ケースのトレイやフタが反って、フタとトレ イとの隙間からペリクル収納ケース内に異物が侵入して ペリクル膜等に付着することを防止することができる収 納ケースを目的としている。 【解決手段】中央部に台状のペリクル搭載面2を有し、 かつこのペリクル搭載面2の周りに複数の突起状のポス ト3を有するペリクル収納ケースのトレイ1に於いて、 前記ペリクル搭載面2にペリクル搭載面2の板厚の50 %以上の高さを有するリブ4を設けて構成したペリクル 収納ケースの構造である。
PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a pellicle housing case whose tray or lid is restrained from being warped even if the pellicle housing case is exposed to a high- temperature atmosphere so as not to allow foreign objects to penetrate into the case passing through a gap between the lid and the tray and attach to a pellicle film or the like. SOLUTION: A pellicle housing case 1 is equipped with a pellicle mounting surface 2 trapezoidal in cross section at the center and protrudent posts 3 located at the peripheral edge of the mounting surface 2, where a rib 4 half or above as high as the thickness of the pellicle mounting surface 2 is provided to the pellicle mounting surface 2.

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